| 编号 | LH2018367 | |
| 项目名称 | 一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法 | |
| 项目简介 | 该项目提供了一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法及装置。采用不同的靶材，可以在磁制冷材料上紧密形成0.1~6µm厚的薄膜，使磁制冷材料在磁制冷机中使用时不受热交换液体的腐蚀，同时不影响热交换。靶材可以是合金如不锈钢，也可以是纯金属如钛、铝、铜、镍或锆。被处理的磁制冷材料可以是颗粒状、片状或丝状。本发明使用的处理装置为低温磁控溅射机，溅射枪和靶材安装在真空室的上部，磁制冷材料置于下部。本发明在真空室内，设计了一种振动机构或搅拌机构，使粒状磁制冷材料在被处理时能充分翻转，达到在磁制冷材料表面形成均匀厚度的薄膜。 | |
| 联系人 | 殷亮 | |
| 联系电话 | 02557675219 | |
